@@ -3,7 +3,7 @@ Supplementary general operating instructions in the \
Central laboratory for micro- and nanotechnology for the facilities and rooms of \
Compound Semiconductor Technology
Last update: **2022-05-18**
Last update: **2022-08-16**
The "allgemeine Reinraumlaborordnung für das Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie" apply to the Central Laboratory for Micro- and Nanotechnology ([PDF as of 2016-04](ZMNT%20-%20Reinraumlaborordnung%202016_04_20.pdf)[1]). This document regulates specific information for the rooms and systems of Compound Semiconductor Technology.
@@ -3,7 +3,7 @@ Ergänzende allgemeine Betriebsanweisung im \
Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie zu den Anlagen und Räumen von\
Compound Semiconductor Technology
Stand: **2022-05-18**
Stand: **2022-08-16**
Es gilt die allgemeine Reinraumlaborordnung für das Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie ([PDF Stand 2016-04](ZMNT%20-%20Reinraumlaborordnung%202016_04_20.pdf)[1]). Diese Laborordnung regelt spezifisches für die Räume und Anlagen vom Compound Semiconductor Technology.